Ключевое слово: «распределение ионов»
Амрахова Э. Ш. Моделирование процесса ионной обработки полупроводниковой структуры ионами инертных газов // Научно-методический электронный журнал «Концепт». – 2015. – Т. 13. – С. 1106–1110. – URL: http://e-koncept.ru/2015/85222.htm
Э. Ш. Амрахова
Проводится краткое описание вычислительного метода математического моделирования одного из основных технологических процессов производства наноструктурированных полупроводниковых материалов. Приводятся результаты расчетов при вариации определяющих параметров. В качестве объекта исследования была выбрана структура хром-кремний. В соответствии с целями исследования, для моделирования процесса ионной обработки структуры хром-кремний реализовано численное решение кинетического уравнения переноса с использованием метода Монте-Карло.
